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第十届华东真空学术交流会论文摘要(三)

发布时间:2017-12-13   浏览次数:2703

本文为江苏省真空学会会员报送参加第十届华东真空学术交流会的论文摘要。



面向硅通孔(TSV)的高深宽比薄膜沉积技术进展及应用

谢迪, 王从香, 崔凯

南京电子技术研究所,江苏 南京 210039

 

摘要近年来,以硅通孔(TSV,Through -Silicon-Via)为核心的先进封装技术是三维集成领域的发展趋势和研发热点。与之相关制造技术也得到了快速发展。由于TSV特征尺寸的限制,传统的薄膜制备技术难以满足目前新型功能薄膜的应用需求,相应的薄膜制备技术也取得进一步发展。本文将介绍面向TSV结构的深孔的薄膜沉积技术的发展,以及PVD、MOCVD、ALD等改进技术及特点,阐述薄膜制备技术在TSV高深宽比的金属化的应用。



全息波导显示系统设计

刘奡1  张宇宁1* 

 

 1东南大学 电子科学与工程学院 教育部信息显示与可视化国际合作联合实验室,江苏 南京 210096

 

摘要 全息光波导近眼显示系统中,微像源发出的载像光波准直后经过输入耦合光栅传入平板波导,进行内全反射传播至输出耦合光栅,最终到达人眼。功耗、重量和体积是近眼显示系统的主要指标,全息光波导的设计与实现是简化光学系统的结构,得到更小的尺寸和重量的关键。本文以真实的图像传输为目的,对全息波导光栅的周期、效率、角度、结构等方面进行理论分析和优化设计,通过激光干涉曝光实验实现了相应的全息光栅,结合波导及光学设计,进一步实现了近眼图像的传输。



石墨烯功函数对石墨烯/硅肖特基电池的性能影响

 

况亚伟1,马玉龙1,石吟馨2,张静1,魏青竹3,刘玉申1,钱斌1

 

1 常熟理工学院 物理与电子工程学院 常熟 215500

2 中国电子科技集团公司 第五十五研究所 南京 210016

3 苏州腾晖光伏技术有限公司 苏州 215542

 

Graphene work function effect on the performance of Graphene/Silicon schottky solar cells

 

Kuang Yawei1, Ma Yulong1, Shi Yinxin2, Zhang Jing1, Wei Qingzhu3, Liu Yushen1, Qian Bin1

 

1. School of Physics and Electronic Engineering, Changshu Institute of Technology, Changshu 215500

2. The 55th Research Institute of China Electronic Technology Group Corporation, Najing 210016

3. Talesun Technologies Co., LTD, Zhongli Group, Suzhou 215542

 

摘要  本文基于经典金半势垒模型构建了石墨烯/硅肖特基太阳能电池的二维工艺仿真模型,实现异质结特性参数(如结深、理想因子、串联电阻等)和器件光伏特性参数(如短路电流、开路电压、填充因子、内外量子效率等)的提取,研究了MS结构下石墨烯功函数对器件性能的影响,重点讨论了石墨烯功函数对器件性能优化的制约因素。

 


一种空间行波管真空灌封及其绝缘性能检测方法

陈平、刘逸群、成红霞、管玉柱、孙萌、梁田

南京三乐电子信息产业集团有限公司  211800

 

摘要:硅橡胶灌封质量对空间行波管可靠性至关重要。真空灌封有效去除了灌封材料和工件表面的空隙,能很大程度上提高灌封处的绝缘性能。本文取材于空间行波管真空灌封工艺研究,主要介绍真空灌封工艺原理、一种真空灌封工艺实现以及对真空灌封绝缘性能检测的方法。本文描述的工作对真空灌封工艺在空间行波管生产过程中的实用化和促进空间行波管灌封材料、设备、工艺的进一步研究都能起到很大的促进作用。



一种新型机载HID光源

丁晓尘1  邓涛1  穆鹏敏1  方庆华1

(1南京三乐集团有限公司,南京 211800;)

 

摘要:介绍了研发一种以HID灯芯作为发光源的机载照明光源,使该HID光源能够满足飞机夜航搜索照明需求。主要从HID灯芯的选择、触发器设计、绝缘设计以及光学设计方面解决中心光强、大散射角以及绝缘方面的技术问题。并对试制的样品进行了测试,其参数基本能达到机载照明光源的指标。